利用催化劑使有害氣體中的可燃組分在較低的溫度下氧化分解的凈化方法。對于 CnHm 和有機溶濟蒸汽氧化分解生成CO₂和H₂O并釋放出大量熱量。該裝置主體結構由凈化裝置主機、引風機、控制系統三大部分組成。其裝置包括：阻火除塵器、熱交換器、預熱器、催化燃燒室。

活性炭脫附出來的高濃度、小風量、高溫度的有機廢氣經阻火除塵器過濾后，進入特制的板式熱交換器和催化反應后的高溫氣體進行能量間接交換，此時廢氣源的溫度得到第一次提升；具有一定溫度的氣體進入預熱器，進行第二次的溫度提升；之后進入第一級催化反應，此時有機廢氣在低溫下部份分解，并釋放出能量，對廢氣源進行直接加熱，將氣體溫度提高到催化反應的最佳溫度；經溫度檢測系統檢測，溫度符合催化反應的溫度要求，進入催化燃燒室，將有機氣體徹底分解，同時釋放出大量的熱量；凈化后的氣體通過熱交換器將熱能轉換給出冷氣流，降溫后氣體由引風機排空。